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| 模型 | VMA-2520 | VMA-4550 | VMA-6550 |
| X、Y、Z轴行程范围 | 250×200×200毫米 | 450×400×200毫米 | 650×550×200毫米 |
| 测量范围 | 200×200×166毫米（TP20） 200×200×170毫米（TP200） 250×200×200毫米 （图像焦点） | 400×400×166毫米（TP20） 400×400×170毫米（TP200） 450×400×200毫米 （图像焦点） | 600×550×166毫米（TP20） 600×550×170毫米（TP200） 650×550×200毫米 （图像焦点） |
| 最大分辨率 | 0.1 微米 | ||
| 最大样品重量 （根据规格保证准确度） | 15公斤 | 40公斤 | 50公斤 |
| 最大样品重量 | 5公斤 | 20公斤 | 20公斤 |
| 精度um（L：测量长度，单位mm） | EUX、MPE EUY、MPE：2+8L/1000 µm EUXY,MPE: 3+8L/1000 µm EUZ,MPE*3: 3+L/50 µm | EUX、MPE EUY、MPE：2+6L/1000 µm EUXY,MPE: 3+6L/1000 µm EUZ,MPE*3: 3+L/100 µm | |
| 相机 | 黑白 1/3” CCD，彩色 1/3” CCD（可选） | ||
| 操作高度（Z轴） | 73.5 毫米（激光聚焦时为 63 毫米） | ||
| 放大 | 光学：0.35 至 3.5 倍（放大倍数 0.52 至 5.2 倍可根据要求定制） 屏幕：12.6 至 126x，24 英寸 WUXGA（1920×1200 像素）显示屏 | ||
| 样品台的视野 | 13.3×10 毫米至 1.33×1 毫米（高倍放大选项为 8.9×6.7 毫米至 0.89×0.67 毫米） | ||
| 自动对焦 | 图像对焦 – 视觉自动对焦、激光对焦（可选） | ||
| 灯光 | 边缘和表面照明：白色 LED 角落照明：8段白色LED环形灯 | ||
| 视频分辨率 | 640×480像素 | ||
| 接触式探头（选配） | 雷尼绍® TP200/TP20 | ||
| 电源 | 100伏-240伏，50/60赫兹 | ||
| 功耗 | 5 安（100 伏） – 2.5 安（240 伏） | ||
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设备使用一段时间后，难免会出现问题和损坏，导致无法继续使用，或者虽然可以继续使用，但可能造成人员和财产损失。更换设备的解决方案在大多数情况下并不可行，因为购买新设备的成本非常高昂，因此最有效的解决方案是对设备进行维修。
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3D VINA 校准股份公司
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