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L300（LSI/FPD检查显微镜）
半导体/FPD检测显微镜
– 高亮度反射透射照明
– 高倍率和高分辨率样品观察
– 机动化系统
主要特点
L系列
增强的观察性能、环境响应能力和兼容性
产品阵容包括 4 种针对 FPD/LSI 检测进行优化的类型
L200ND反射/透明型L300ND反射/透明型
支持200mm晶圆 支持300mm晶圆
显微镜载物台
L200N / L200ND阶段
– 测量距离：205x205mm（8英寸x8英寸）
（支持6英寸/8英寸晶圆）
L300N/L300ND舞台
- 测量距离：352x302mm（14英寸x12英寸）
（支持12英寸晶圆）
改善环境响应和可操作性
▶高亮度12V50W卤素灯，亮度超过12V100W
– 功耗约为12V100W的一半，并达到相同或更高的亮度
– 自由定心，轻松更换灯泡和灯箱
– 灯箱内配备后视镜。与12V100W照明相比，亮度提高20%以上。
– 防止因热而导致失焦现象
▶电动物镜转盘的耐用性是前代产品的3 倍
– 最多可安装 6 个微距镜头
– 配备3处定心校正机构
– 与偏心率低的物镜组合，在低倍率和高倍率之间切换时，定心误差小，易于使用
– 改变放大倍数时，灯光会自动关闭，以保护操作员的视力免受散射光的伤害。
▶电动物镜转盘的耐用性是前代产品的3 倍
– 最多可安装 6 个微距镜头
– 配备3处定心校正机构
– 与偏心率低的物镜组合，在低倍率和高倍率之间切换时，定心误差小，易于使用
– 改变放大倍数时，灯光会自动关闭，以保护操作员的视力免受散射光的伤害。
▶抗静电涂层，抗污染能力强
– 主体、平台和镜筒采用防静电涂层
- 加强污染控制措施
– 防止静电对样品造成的损坏
▶直立倾斜的三目观察头，可在最佳视线水平进行观察
– 25mm视野，超广视野类型，倾斜角度30°
– 可根据工人的身高调整视线高度，以便舒适地观察
▶固定载物台微手柄的位置
– 无论样品观察位置如何，微型手柄的位置都可以调整，无需改变，操作方便
– 所有操作部件都位于靠近的位置，使聚焦和载物台移动操作变得简单。
▶内置对焦目标，方便对焦
– 通过在光路中插入聚焦目标，即使在观察没有图案的样品（例如 Bear Wafers）时也可以快速轻松地聚焦。
▶控制面板位于主机正面中央
– 所有操作部件，包括载物台转移手柄、调焦手柄和放大倍数改变按钮，都位于显微镜的前面。
– 旨在最大程度地减少操作员长期使用过程中的疲劳
