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特征：
1.长行程，测量范围广。
2、自主研发的测量软件，满足客户的各种需求。
3.具有自动对焦、自动寻边、强大编程、自动测量等功能。
4.采用亚像素细分技术，提高边界分辨能力。
5.配备操纵杆，也可以通过软件进行编程。
6.SPC数据处理系统及大批量夹具测量。
7.X、Y、Z轴均采用伺服控制系统——定位快速、精度高、运行稳定。
8、仪器内部采用自主研发的成熟嵌入式模块控制系统，运行更加稳定。
9、面状冷光源采用5环8区程序恒流驱动，适合复杂工件加工。
10、X、Y轴导轨采用花岗岩材质，稳定性高，刚性强。
11、完美的直线度花岗岩，理想的平整度草地，无摩擦、耐磨的花岗岩导轨。
12、采用激光指示器检测被测工件的具体位置，方便定位和操作。
规格：
单位：毫米 | |||
| 模型 | VMS-6060H | VMS-6090H | |
| 在职的 桌子 | X、Y轴行程 | 640×770 | 640×1070 |
Z轴行程（mm） | 200（调焦及辅助测量） | ||
玻璃桌尺寸 | 640×940 | ||
工作空气 | 0.4MPa±0.02 | ||
| 数字测量系统 | 光栅尺分辨率：0.0005mm | ||
| 0.7~4.5X变焦镜头，总放大倍数：20~128X | |||
| X、Y轴电机转速 | <300毫米/秒 | ||
| Z轴电机转速 | <50毫米/秒 | ||
| 尺寸（长×宽×高） | 1500×1300×1510 | 1800×1300×1510 | |
| 重量（公斤） | 1281 | 1500 | |
