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装载工件并沿X/Y方向移动，并读取移动量。
与工作台组合使用，用于旋转工件。用于旋转工件，并使其与工作台移动的方向一致。
与 PS 4x4B、PS 6x4B 阶段一起使用。
适用于 PS 12x8C、PS 10x6B、PS 8x6B 阶段。
连接到 SC-213/212 计数器时打印出 XY 计数器值。
该标尺可测量平台的行程精度，最高可达 300 毫米。
它具有 10 毫米步进模式和标准校准两种选择。它采用低膨胀玻璃来阻挡热量的影响。
精度：与修正值的误差在1μm以内（附精度表）
非常适合管理包含最大/最小值、宽度公差、标准偏差、过程能力指数、逐批的结果数据
操作系统：Windows® 7 或 Windows® 10；内存空间：512MB 或更多
