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尼康NEXIV VMZ-R6555 二次元测量机

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  • 描述

速度比以往更快、精度更高。

可以针对每个样本精细调整放大倍数、自动对焦和照明条件。
VMZ-R6555 的行程为 650 x 550 毫米,适用于大型组件以及在平台上对多个部件进行“分步重复”测量。

亮点:

  • 六种光学变焦头
  • 检测0.1毫米透明层
  • 具有三个入射角的 8 段环形照明
  • 测量精度进一步提高
  • 更快的吞吐量
  • 15倍高速变焦

六种光学变焦头

标准放大倍数变焦头:1 – 3 型

1、2 和 3 型配备尼康 15 倍变焦镜头,具有长工作距离、宽视场和 0.35 的高数值孔径 (NA)。它们配备 LED 落射照明器和透射照明器,以及具有三个入射角的 LED 8 段环形照明器。

高倍率变焦头:4型,TZ

4 型和 TZ 型配备尼康 15 倍和 120 倍变焦镜头,放大倍数更高,数值孔径 (NA) 也更高,为 0.46。4 型配备 LED 落射照明器和透射照明器,以及一个入射角为 50 度的 LED 8 段环形照明器。TZ 型配备 LED 落射照明器、透射照明器(用于更高放大倍数)和暗场照明器。

宽视野变焦头:A型

A型采用尼康10倍变焦镜头,拥有最宽的视场、最长的工作距离和最高的NA 0.11。它配备LED落射照明器和透射照明器,以及一个入射角为18度的LED 8段环形照明器。

放大倍数与视野 (mm)

标准放大倍数变焦头
类型 1
光学放大倍数 总放大倍数 视场 (mm)0.5×18×9.33×7.011×36×4.7×3.52×72×2.33×1.754×144×1.165×0.8757.5×270×0.622×0.467
类型 2
光学放大倍数 总放大倍数 视场 (mm)1×36×4.7×3.52×72×2.33×1.754×144×1.165×0.8758×288×0.582×0.43715×540×0.311×0.233
类型 3
光学放大倍数 总放大倍数 视场 (mm)2×72×2.33×1.754×144×1.165×0.8758×288×0.582×0.43716×576×0.291×0.21830×1080×0.155×0.117
高倍变焦头
类型 4
光学放大倍数 总放大倍数 视场 (mm)4×144×1.165×0.8758×288×0.582×0.43716×576×0.291×0.21832×1152×0.146×0.10960×2160×0.07×0.068
TZ型
光学放大倍数 总放大倍数 视场 (mm)1×36×4.7×3.52×72×2.33×1.754×144×1.165×0.8757.5×270×0.622×0.46716×576×0.291×0.218
32×1152×0.146×0.10964×2304×0.073×0.055120×4320×0.039×0.029
宽视野变焦头
A型
光学放大倍数 总放大倍数 视场 (mm)0.35×12.6×13.3×100.6×21.6×7.8×5.81×36×4.7×3.51.8×64.8×2.6×1.93.5×126×1.33×1

* 总放大倍数是 VMZ-R 系列推荐使用的 24 英寸 WUXGA 显示器(1920 × 1200 像素)上 640 × 480 像素的视频窗口的放大倍数。

检测0.1毫米透明层

新型 TTL 激光自动对焦专为检测薄透明材料的表面而设计,具有与 VMR 系列激光自动对焦相同的高速和高精度。

具有三个入射角的 8 段环形照明

标准倍率变焦头(1-3型)配备8段LED内外环照明器以及落射照明器和透射照明器。入射角为37度、55度和75度,可调整任意8段灯组合的照明方向和光强。

* 4 型 8 段环形照明器的入射角为 50 度,A 型 8 段环形照明器的入射角为 18 度。

测量精度进一步提高

尼康开发的高分辨率线性编码器“ModuRay”进一步提高了测量精度。

更快的吞吐量

高数据传输率与快速照明控制相结合可提供更快的吞吐量。

15倍高速变焦

5 级高速变焦,变焦倍数为 15 倍,既可以在低倍率下实现宽视野,又可以在高倍率下实现高分辨率观察(类型 1 – 4)。

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