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尼康 Confocal NEXIV VMR-K3040ZC 满足了人们对可靠半导体产品的巨大需求，从而满足了复杂 IC 封装的计量需求。Confocal NEXIV 采用全新的光学测量头，利用共焦功能解决了 Z 系列测量难题。该测量头支持微米级测量能力，并针对半导体测量进行了优化，强调低畸变，从而优化了整个视场。
类别：视觉系统
应用：液晶显示器、MEMS、动力传动系统组件、手机、剃须刀和手表、自动测量、望远镜光学、天线、电信和电子产品
共聚焦物镜：1.5x – WD 24mm、3x – WD 24mm、7.5x – WD 24mm
先进的图像处理通过强大的边缘检测增强了对比度和保真度，以确保准确性和可重复性。
1.5 秒周期时间内，快速、共焦高精度高度测量 0.35（2 sigma）。
全新、易于编程、功能多样的 VMR Automeasure 软件包括 CAD 阅读器、离线编程、分析软件和编程向导。
选择无缺陷仪器级逐行扫描黑白 CCD 相机，实现更快的图像采集和系统速度。
非常适合测量微型二维和三维工件，这些工件均需要极高的精度。例如，先进IC封装上的凸块高度、MEMS、探针卡、微透镜、隐形眼镜、彩色FPD面板的光隔离片、模具等。
共聚焦显微镜广泛应用于生物科学研究，与传统光学显微镜相比具有多种优势，包括可控景深、消除影响图像质量的失焦信息，以及能够从材料样品中采集连续光学切片。共聚焦方法的关键在于使用空间滤波来消除材料样品图像中的眩光。尼康共聚焦 NEXIV 使用尼普科夫转盘，该转盘具有多个对称放置的螺旋针孔，光线穿过这些针孔后被分成多束微小光束。随着转盘旋转，每束光束扫描样品场的一部分并生成 3D 图像。该图像通过光学切片技术投射到数字 CCD 相机中。一次扫描即可捕获 3D 图像，从而提供高度精确可靠的高度测量数据。
先进的尼康光学元件可提供卓越的图像，从而提高可重复性和准确性。
5 步 15 倍远心变焦（15:1）放大倍率可覆盖不同的视野和分辨率要求。
快速、准确、耐用——300 X、400Y 毫米行程，配备 150 毫米 Z 轴的铸造 Mehanite 平台。
采用新的较低膨胀系数 0.1µm 分辨率刻度，提高了平台精度。
精密研磨大直径滚珠丝杠，配备直流伺服电机，速度快，刚度高。
视觉和TTL激光自动对焦。高速通过镜头的激光扫描速度为1000点/秒，Z轴精度为0.5µm（2 sigma）。
