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尼康最高精度的自动化视频测量系统是您计量实验室的“主参考测量系统”。尼康最高精度的自动化视觉系统 NEXIV VMR-H3030 拥有所有 NEXIV 测量系统中最佳的规格、精度和重复性，最小读数可达 0.01 µm。它配备 300 x 300 x 150mm 载物台、TTL 激光高度/轮廓扫描、智能模式识别和低对比度边缘测量功能。在对高精度至关重要的情况下，例如校准标准和量具、主模和模具以及难以测量或超小型精密部件时，它是理想的选择。
类别：视觉系统
应用：表面检查、表面分析、动力传动系统部件、手机、剃须刀和手表、自动测量、望远镜光学、天线、电信和电子产品
0.01µm 的超高精度提供了主校准仪器所需的关键细节。H3030 配备强大的远心 15:1 变焦模块，配备 0.35 NA 物镜和 50mm 自由工作距离。
VMR-H3030 专为亚微米级精度测量而设计，体积庞大（比同等型号的 VMR-3020 重 3 倍）。其工作台采用低膨胀系数金属制成，并配有超重型滚柱轴承导轨。特殊的高分辨率线性编码器刻度（采用低膨胀系数玻璃刻度）可提供比我们其他 Nexiv 测量系统精细 10 倍的读数。
允许用户充分利用强大的光学系统以每秒 1,000 个点的速度扫描 3D 精密部件的复杂轮廓，并利用 15 倍远心变焦系统在低倍率下轻松进行搜索。
将工件的黑色和灰色部分数字化分为256个等级，然后根据此等级检测并处理边缘。这可以防止测量数据受到照明变化的影响。
当操作员点击待测点时，系统会自动旋转探头，将其设置在最佳位置，并自动设置探头尺寸。通过改变对比度阈值来消除灰尘和毛刺，轻松选择所需边缘。独特的算法即使在低倍率下也能增强边缘检测。
多种照明选择有助于在模具中进行精确的边缘检测。这些包括：
具有交互式测量向导，每个操作员均可自定义，以备将来使用。智能搜索功能可消除可能的测量误差，多模式搜索功能可自动校正零件间差异以及预期边缘或特征位置的偏差。NEXIV 还具有模式匹配测量系统，可确定常规几何测量模式下难以测量的特征的坐标值。
采用高端机床上常见的舞台轨道设计，在任何环境下都能实现卓越的稳定性。
提供更高的精度，光学放大倍数高达 120 倍。非常适合晶圆级 CSP、晶圆凸块高度和 SIP、重布线掩模版以及 MEMS 掩模版。其他特性：
