测量显微镜MM800 | |||||
代码: | MM800 | ||||
保证: | 1年 | ||||
产地: | 日本 | ||||
MM-400/800系列测量显微镜,融合了先进测量显微镜所应具备的关键性能特点: – 更高的准确性 – 数字成像和视觉处理计量学 – 更大的载物台,可提高工件处理能力 – 非接触式 Z 高度测量 – 与数据处理系统 DP-E1A 协调 | |||||
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规格
10 个主体适用于不同的应用
适用于大行程平台(最大 300mm x 200mm x 200mm)
MM-800/LM:电动 Z 轴
MM-800/L:内置Z轴线性刻度
MM-800:两轴测量模型
MM-800/S:适用于第三方DRO
MM-800/SL:适用于内置 Z 轴线性刻度的第三方 DRO
适用于较小行程平台(最大 150mm x 100mm x 150mm)
MM-400/LM:电动 Z 轴
MM-400/L:内置Z轴线性刻度
MM-400:两轴测量模型
MM-400/S:适用于第三方DRO
MM-400/SL:适用于内置 Z 轴线性刻度的第三方 DRO
测量显微镜特征
MM-400/800系列
300mm x 200mm载物台
增加的机身强度使得能够使用更大的平台,例如 PS12x8C 平台,从而容纳更大的工件。
MM 控制器背包接口
照明、X/Y 平台和 Z 数据可连接到 MM 控制器
作为运行 E-Max 软件的外部计算机的接口,用于数据
处理和系统控制。
电动Z轴和显微观察模式切换
带通用落射照明器的高功率显微镜模型
这些“通用”型号将测量支架与尼康最优质的金相显微镜组件相结合,可实现高分辨率成像和关键测量。配备尼康先进的LU物镜和显微镜技术,包括:明场、暗场、DIC对比、偏光和落射荧光。物镜转盘上最多可安装五个物镜。此外,显微镜中的重要控制功能(例如Z轴移动、调焦和照明切换)已实现自动化或电动化,以简化成像操作,例如数字图像采集、数字视场测量和数据存储。
应用
半导体封装、键合定位、环路高度、FPD面板(LCM)MEMS、晶圆级CSP、HDD滑块