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该显微镜结合尼康卓越的 CFI60 LU/L 光学系统和卓越的全新照明系统，可提供对比度更高、分辨率更高的图像，以及比以往亮度高三倍的暗场图像。L200 系列可独立使用，或与晶圆装载机配合使用，对晶圆、光掩模、光罩和其他基板进行极其精确的光学检测。
类别：正置显微镜
应用：晶圆、手机、剃须刀和手表、望远镜光学、天线、电信和电子产品
L200：提供 200 毫米晶圆和掩模检测功能，可通过明场、暗场、简单偏光和 DIC 等各种观察方法识别反射光照明缺陷。
L200ND：提供 200mm 晶圆和掩模版检测功能，适用于透射光和反射光照明。除了 L200N 的观察方法外，还可进行落射荧光观察，包括 365nm 紫外激发。
L200A： L200N 的自动化版本。光圈控制、对焦、明场/暗场切换、物镜转盘旋转、光源强度控制以及 DIC 设置等常用操作均已实现电动控制，可通过遥控器或 PC 进行控制。
这些显微镜的机身采用静电放电涂层，以防止异物附着在显微镜上。此外，电动物镜转换器采用屏蔽式中央电机，可将异物困在内部，防止其落到样品上。
高强度 12V-50W 卤素照明器 (LV-LH50PC) 亮度高于 12V-100W 卤素照明器，功耗却仅为后者的一半。这款新型灯箱配备后视镜，并优化了灯丝尺寸，可在光瞳平面上实现有效均匀的照明，而光瞳平面在光学平面中至关重要。
尼康 CFI LU Plan 物镜支持多种观察技术，包括明场、暗场和 Nomarski DIC，只需使用单个物镜即可实现。对于 DIC，只需将一个适用于所有放大倍率范围的 Nomarski 棱镜插入物镜转盘即可。
采用符合 SEMI 标准的设计，控制旋钮位置低，靠近操作员，而眼点则设置在理想的高度，以确保舒适的操作。由于控制旋钮位于显微镜底座上，手部移动极少，因此可以集中精力于检查过程。目镜位置更靠近操作员，使操作员能够保持更直立的坐姿。这也使操作员距离载物台更远，从而提供更符合人体工程学且更安全的观察位置。
目镜筒为三目倾斜式，可在0°至30°范围内连续调节倾斜角度，以便以最佳眼点水平进行观察。目镜还采用超广角设计，视场为25mm。
XY微调控制器始终位于靠近前方的位置，无论载物台位置如何，都能保持舒适的观察姿势。此外，这些控制器和调焦旋钮彼此靠近，方便您单手操作。
L200N系列显微镜的电动万向物镜转换器具有更佳的定心性，并且比传统型号耐用三倍。它还配备防闪光装置，可在物镜转换器旋转时保护操作员的眼睛。L200A内置电动物镜转换器带有DIC附件插槽，配备机械止动装置，并由软件控制，使系统能够精确地停止在相应的物镜位置。
提供清晰锐利的图像，工作距离更长，数值孔径 (NA) 高，眩光极小。暗场观察时的信号背景比比以往提升三倍，可提供出色的高对比度图像，非常适合高精度观察。
尼康应用计算机辅助工程 (CAE) 技术，显著提升了 L200 系列显微镜的刚性，使其受地面振动的影响比传统设备降低了三倍。即使在高倍率观察时，这也降低了出现图像模糊或偏移的可能性。这种卓越的设计不仅提高了稳定性，还缩小了占地面积。
| 主体： | 内置落射照明；内置电动控制电源；物镜转换器电动控制；光强度控制；孔径光阑控制 |
|---|---|
| 调焦机制： | 横向行程：29 毫米；粗调：每转 12.7 毫米（扭矩可调，提供重新调焦机构）；细调：每转 0.1 毫米（以 1 微米为增量） |
| 落射照明器： | 内置12V/100W卤素灯光源；电动孔径光阑（可定心）；固定视场光阑（带聚焦目标）；可安装针孔滑块（可选）；可安装四个25mm滤光片（NCB11/ND4/ND16/GIF）；起偏镜；检偏镜 |
| 鼻托： | 固定电动六孔通用物镜转换器；提供用于DIC附件的插槽 |
| 目镜筒： | L2TT 超广角可倾斜三目目镜筒（倾斜角度0-30°，正立像）；视场：25mm；光路切换：双向（双目:摄像100:0/0:100） |
| 阶段： | 8 x 8 载物台；行程：205 x 205mm；可进行粗/微动切换；固定位置 XY 微动控制 |
| 目镜： | CFI目镜系列 |
| 目标： | CFI60 LU/L 计划系列 |
| 重量： | 使用 8 x 8 载物台和 L2TT 目镜筒时，重量为 43.75 千克（96.45 磅） |
| 遵守： | 半导体 S2-93A、S8-95、CE、UL |
| 观察方法： | 明场、 暗场、DIC、简易偏光 |
|---|---|
| 主体： | 带有通用物镜转换器的反射式支架 - 内置电源 |
| 调焦机制： | 行程：29 毫米；粗调：每转 12.7 毫米（扭矩可调，配备调焦停止装置）；微调：每转 0.1 毫米（以 1 微米为增量）；导轨：4 导轨（双滚柱导轨，扭矩可调） |
| 落射照明器： | 电动孔径光阑（可定心，内置针孔滑块）；固定视场光阑（带聚焦目标）；可安装四个 25 毫米滤光片（NCB11/ND4/ND16/GIF）；偏振器；检偏器 |
| 光源： | 100W 卤素灯 – 100W 水银灯 – 75W 氙气灯 – 150W 金属卤化物灯 |
| 目镜筒： | UW 倾斜三目目镜筒（倾斜角度 0-30°，正立图像）；视场：25 毫米；光路切换：双向（双目：照片 100:0/0:100） |
| 鼻托： | 固定电动六孔通用物镜转换器（可定心），高度耐用 |
| 阶段： | 8 x 8 台；横向行程：205 x 205 毫米，粗调/线移切换：手动； 晶圆支架：5-8 英寸，掩模支架 5-6 英寸 |
| 控制： | 前面板：物镜转换器旋转按钮、落射孔径光阑停止按钮、光强度控制旋钮；遥控器：液晶面板、 放大倍数转换键、电动 z 轴、落射孔径光阑停止按钮、光强度控制旋钮、电动明/ 暗场转换键、DIC 调节旋钮、选项键 |
| 目镜： | CFI目镜系列 |
| 目镜： | CFI目镜系列 |
| 目标： | CFI LU/L 计划系列 |
| 自动对焦单元： | 可选（LED） |
| 沟通： | RS-232C |
| 重量： | 约 45 公斤（使用 8 x 8 载物台和 UW 目镜筒时） |
| 遵守： | SEMI S2-0200、S8-0600、CE、UL |
| 主体： | 内置透射和落射照明；内置电动控制电源；物镜转换器电动控制；光强度控制；孔径光阑控制；落射/透射转换 |
|---|---|
| 调焦机制： | 横向行程：29 毫米；粗调：每转 12.7 毫米（扭矩可调，提供重新调焦机构）；细调：每转 0.1 毫米（以 1 微米为增量） |
| 落射照明器： | 内置12V/100W卤素灯光源；电动孔径光阑（可定心）；固定视场光阑（带聚焦目标）；可安装针孔滑块（可选）；可安装四个25mm滤光片（NCB11/ND4/ND16和GIF）；起偏镜；检偏镜 |
| 透射照明器： | 内置12V/100W卤素灯光源；内置孔径光阑和长工作聚光镜 |
| 鼻托： | 固定电动六孔通用物镜转换器；提供用于 DIC 附件的插槽 |
| 目镜筒： | L2TT 超广角可倾斜三目目镜筒（倾斜角度 0-30°，正立像）；视场：25mm；光路切换：双向（双目:摄像 100:0/0:100） |
| 阶段： | 8 x 8 载物台；行程：205 x 205mm（透射观察范围：150 x 150mm）；可进行粗调/微调切换；固定位置 XY 微调控制 |
| 目镜： | CFI目镜系列 |
| 目标： | CFI60 LU/L 计划系列 |
| 重量： | 使用 8 x 8 载物台和 L2TT 目镜筒时为 44.45 千克（97.99 磅） |
| 遵守： | 半导体 S2-93A、S8-95、CE、UL |
