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  • 描述

通过集成光学显微镜和先进的测量功能实现精确测量


经过多年显微镜研发,观察性能不断提升

奥林巴斯STM7系列采用与尖端光学显微镜相同的UIS2无限远校正光学系统。因此,观察到的图像具有高分辨率和高对比度,彻底消除了像差,有助于确保对微小细节进行高精度测量。

明场图像明场图像
暗场图像暗场图像
差分干涉图像 DIC 图像
偏振图像 POL 图像

采用石材制作的载物台安装板,增强测量可靠性

FEM_分析 STM7-LF FEM分析

为了进一步确保测量精度,STM7系列采用了高度耐用、抗震的框架和花岗岩平台。由于这种稳定性,它可以在亚微米级进行测量,同时确保最小的误差。


作为高度测量领域的先驱,持续提供用户友好、高精度的三轴测量

trace_af_optical_path反射式主动共焦自动对焦系统光路

随着现代制造技术日益微型化和精密化,高精度测量变得愈发重要——不仅要沿水平XY轴,还要沿Z轴。奥林巴斯率先通过反射式主动共焦方法实现了用于测量显微镜的自动对焦系统,从而满足了这一需求。


基于严格追溯体系的可靠质量

奥林巴斯测量显微镜的精度由严格的可追溯性系统控制,奥林巴斯甚至在安装时提供可追溯的校准。

traceability_system_diagram.en

测量显微镜追溯系统


STM7 的设计注重易用性

提供适合手头样本大小的阶段

常见问题

  • 较短的测量行程妨碍了较大样品的测量。
  • 测量过程中,为了补偿Y轴覆盖范围小于X轴覆盖范围而需要旋转样品,这会导致时间效率低下。到目前为止,大型平台在X轴上提供了足够的测量覆盖范围,但在Y轴上的覆盖范围却较小。
  • 由于测量范围较窄,不可能一次性将大量样品排列在台面上进行测量。

STM7 解决方案

  • 四种类型的工作台可供选择,每种工作台均具有独特的方形测量行程(可选尺寸:50 mm x 50 mm、100 mm x 100 mm、200 mm x 200 mm 和 300 mm x 300 mm)。从小尺寸样品到大尺寸样品,总有一款工作台适合您的测量。
  • 离合器系统可在粗调和微调之间快速切换。借助此切换功能,平台可沿 X 轴和 Y 轴快速移动,并在 XY 平面内自由移动。
  • 300 毫米方形长度平台可使相同的测量行程应用于 X 轴和 Y 轴,这意味着它可用于测量大型样品,例如 300 毫米晶圆和印刷电路板,而无需改变其方向。
stm7_50mm_stage_stmm7-CS50 STM7-CS50
50毫米 x 50毫米
stm7_100mm_stage_stmm7-CS100 STM7-CS100
100毫米 x 100毫米
stm7_50mm_stage_stmm7-CS200 STM7-CS200
200 毫米 x 200 毫米
50mm_stage_stmm7-CS300 STM7-CS300
300 毫米 x 300 毫米

使用同一显微镜进行低倍和高倍观察

常见问题

  • 大多数传统测量显微镜仅接受测量物镜或金相物镜,因此无法满足各种观察的要求。

STM7 解决方案

  • 奥林巴斯 STM7 可通过更换物镜转盘和测量物镜适配器,同时兼容金相物镜和测量物镜。这意味着 STM7 将金相光学系统和测量光学系统集成于一台显微镜中。因此,STM7 系列能够满足各种需求,无论是测量大面积还是微小区域,测量不同层级之间的差异,还是协助用户选择最佳的观察方法。

测量目标


测量目标

通过测量物镜获取明场图像

由于测量物镜具有极长的工作距离,因此在对具有较大峰值和谷值的样品进行聚焦时可以提供信心,同时减少物镜与样品接触的担忧。
此外,它们的低倍放大能力使得能够在单一视图中观察到大面积区域。

冶金物镜

冶金物镜拍摄的明场图像

明场图像

冶金物镜暗场图像

暗场图像

金相物镜可实现与光学显微镜媲美的高倍率、高分辨率观察能力。此外,该物镜不仅可用于明场观察,还可用于暗场和DIC观察。

> 点击此处了解 UIS2 物镜的详细信息


手动和电动调焦模型选项

STM7 系列包括手动和电动对焦选项

调焦控制可通过手动或电动操作实现。无论载物台尺寸如何,您都可以根据样品和测量内容的需求选择合适的型号——所有框架均配备Z轴线性刻度,可实现三轴测量。

手动Z轴对焦型号

z轴手动控制

手动 Z 轴对焦型号具有出色的性价比——熟悉的手柄操作可实现快速垂直移动,为需要测量各种高度样品的用户提供便利。

电动Z轴对焦模型

z轴机动控制

使用电动调焦装置,可提高操作性,并减少对焦和高度测量时的操作疲劳。粗调和微调同轴旋钮带来类似手动操作的感觉,同时这些型号还可配备自动对焦装置。


革命性的控制单元改进了测量显微镜的可用性

常见问题

  • 附加功能需要额外的操作单元,操作人员无法快速找到相应的单元,从而大大降低了测量效率。
  • 主机周围的众多操作单元及其电源占用了宝贵的工作空间。

STM7 解决方案

控制器

STM7系列采用单一控制器,几乎可以完成所有测量显微镜操作,包括读数重置、照明控制、调焦和自动对焦。为了提高效率和便利性,该装置可放置在任何位置,并可轻松单手操作。

控制箱

手动切换系统对于手动 Z 轴对焦型号:
STM7-HS手动开关
机动系统控制单元对于电动 Z 轴对焦型号:
STM7-MCZ 对焦控制器

每个单元的电源和传输都集成在一个控制箱中。即使添加一系列可选功能(例如焦点导航器),也能最大程度地保留工作空间。


自动光强度调节,大大提高观察测量效率

常见问题

  • 传统测量显微镜采用的模拟体积调节无法定量评估光强度,这会导致测量值随着光强度的变化而变化。
  • 使用传统的测量显微镜,每次切换物镜时可能都需要调整光强度,导致工作流程效率低下。

STM7 解决方案

通过光强度值的定量数字显示进行密切控制

面板显示光量 STM7 系列提供光强度的定量数字显示——使得始终能够在一致的照明条件下进行观察。

光强度管理器消除了手动调节的需要

光强度管理器可与编码式物镜转盘配置配合使用。编码式物镜转盘可自动检测物镜的切换。这样,可以为每个物镜注册照明方式和光强度,并在测量过程中切换物镜时自动调整。现在无需像以前那样,每次切换放大倍数时都需要手动调整光强度。

light_manager_x5_image 5x强度 50stm7_light_manager_x20_image 20x强度 70light_manager_x100_image 100x强度 120


可拆卸数字读数装置,方便放置在指定位置,快速、便捷地检查测量结果和设备状态

常见问题

  • 由于需要检查设备的运行状态(例如照明)或各个单元的测量值,因此整体操作变得很麻烦。

STM7 解决方案

数字指示器可直观地验证当前运行状态

指示器显示设备状态和设置。X、Y、Z轴最小值可在0.1μm和1μm之间切换,显示单位可在mm、μm、英寸和mil之间切换。

可拆卸数字读数器可根据个人喜好和位置进行调整

无论是安装在框架还是桌面上,可拆卸数显装置的放置位置均由用户自行决定。站立测量时,可将其放置在框架侧面,高度几乎与观察点相同,以获得清晰易见的视野。坐姿操作时,例如通过数码相机在显示器上观察或测量,或使用电动 Z 轴调焦型号时,只需将数显装置和手动控制器放在桌面上即可。

用显微镜显示测量结果的面板附在框架上的数字读数器
办公桌上测量结果的面板显示放置在桌子上的数字读数


自动对焦系统提供卓越的重复性

实现更快、更简单、更准确的高度测量

常见问题

  • 视觉测量时,不同操作员的高度测量值可能会出现差异。此外,这种测量方法既费时又低效。

STM7 解决方案

简单、高精度的调焦系统,具有卓越的重复性

奥林巴斯的对焦导航仪通过在视野内投射图案并识别垂直偏差,实现高度可重复的高度测量。即使焦点清晰,通过正常的目视观察进行的高度测量也可能会存在轻微的误差。然而,对焦导航仪只需对准标记即可进行测量,从而减少了操作员对测量结果的主观性。

视觉高度测量
通过可视化来计算测量结果的差异

焦点导航器
focus_navigator_front_focus_area低于焦点

focus_navigator_focus_point焦点

focus_navigator_rear_focus_area焦点之上

自动对焦优势,实现快速、高精度高度测量

常见问题

  • 在目视测量过程中,不同操作员的高度测量结果可能会有所不同。
  • 手动高度测量需要操作员反复移动平台并使用手柄调整焦点,这使得测量耗时且效率低下。
  • 聚焦于诸如键合线之类的微小物体是件很困难的事。

STM7 解决方案

专用自动对焦装置:出色的再现性和对焦速度

STM7 专用自动对焦单元可在最短时间内完成高精度高度测量,无论操作员经验水平如何。采用反射式主动共焦方法,可提供稳定的焦点,不受表面粗糙度或样品倾斜度的影响。小直径激光器使其即使在测量诸如键合线等微小物体时也能实现自动对焦。

单次模式

模糊图像
焦点图像

瞬间将自动对焦从粗略对焦状态转为位于视野中心的清晰对焦状态。

跟踪模式

特色的TRACK模式提供自动对焦功能,即使载物台移动,也能追踪样品的波峰和波谷,确保图像持续清晰对焦。这项改进显著提高了Z轴测量的效率,使您无需将手从X和Y轴手柄上移开即可进行观察。


扩大观察和测量范围的配件

编码旋转物镜转盘

编码旋转鼻托

将编码旋转物镜转换器与数码相机相结合,您可以在观察过程中在屏幕上显示物镜的放大倍数,并记录该放大倍数。
此便捷功能允许在记录样本时同时记录样本信息和物镜放大倍数。


MM6-EMO/正像单目镜筒

直立成像单筒望远镜

单目镜筒,用于观察正立图像。可与MM6-OCC10x(带十字丝的目镜)配合使用。


STM7-FS/脚踏开关

脚踏开关

实现免提数据传输,使操作员无需将手从 X 和 Y 手柄上移开即可完成测量。


SZ-LW61/白色LED照明装置

白光 LED 照明单元

这款轻巧、节省空间的设计型号使用寿命长,功耗低。高性价比的LED照明装置也避免了闪烁和亮度波动。


SZX2-ILR66+SZX-RHS/ LED环形照明器+手动控制单元

led_ring_illuminator_manual_control_unit

SZX-RHS 手动控制单元可独立控制 SZX2-ILR66 反射式 LED 环形照明器的四段照明,从而提供清晰、高色温的图像。您可以从 13 种照明模式中选择最佳照明。


可旋转台

可以轻松实现样品的平行排列。

可旋转平台_STM7_RS100 STM7-RS100
适用于 STM7-CS100 100 mm x 100 mm 平台

STM7规格

小框架中框大框架
光学系统UIS2光学系统(无限远校正)
显微镜框架观察方法BF/DF/DIC/KPO*1
反射/透射反射/透射
照明系统白色:用于反射照明,绿色:用于透射照明,最大功耗:10 W
重点电动/手动手动[手动型]
电动[电动型]
中风175毫米145毫米*2
FOCUS按钮:粗调移动速度8 毫米/秒 [电动型]
精细对焦速度(可变)800 µm/400 µm/200 µm/50 µm(旋钮旋转一圈)4 档 [电动型]
最大可测高度175毫米*3、120毫米*4145毫米*3、90毫米*4
目标测量物镜/金相物镜
观察管正像单目镜筒、正像三目镜筒(100:0/0:100)
阶段中风50(X)x50(Y)毫米200(X)x200(Y)毫米300(X)x300(Y)毫米
100(X)x100(Y)毫米
测量精度50 毫米行程:(3+L/50)µm(3+4L/200)微米(3+6L/300)微米
100 毫米行程:(3+2L/100)µm
柜台展示轴数
单元毫米/微米/英寸/密耳
最小分辨率0.1微米
方面[手动型]466(宽)x583(深)x651(高)毫米606(宽)x762(深)x651(高)毫米804(宽)x1024(深)x686(高)毫米
【电动型】466(宽)x583(深)x811(高)毫米606(宽)x762(深)x811(高)毫米804(宽)x1024(深)x844(高)毫米
重量[手动型]84公斤(约)152公斤(约)277公斤(约)
【电动型】92公斤(约)159公斤(约)284公斤(约)
评论*1:简易偏光观察
*2: 使用大框架STM7-LF/STM7-LFA时,高度为100mm或以下的样品可以放置在距光轴向后180mm或以上的位置。
*3:含金相显微镜物镜
*4:带测量显微镜物镜
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