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参数：
| 项目 | 苏尔明575 | 苏尔明7106 | 苏尔明9128 |
| 测量范围 | 500*700*500 | 700*1000*600 | 900*1200*800 |
| 分子工程 | 0.65+2.0升/1000 | 0.8+2.0升/1000 | 1.2+2.0升/1000 |
| 甲基异戊二烯 | 0.65 | 0.8 | 1.2 |
| 尺寸（mm） | 1690*2220*2666 | 1890*2520*2866 | 2090*2720*3266 |
| 最大承重(kg) | 900 | 1000 | 1300 |
| 重量（公斤） | 2850 | 3100 | 3900 |
| 主箱尺寸 | 2220*1860*2045 | 2520*2060*2145 | 2720*2260*2345 |
| 主箱重量 | 3120 | 3380 | 4200 |
| 配件盒尺寸 | 2936*1716*1048 | 2936*1716*1048 | 2936*1716*1048 |
| 配件盒重量 | 420 | 450 | 500 |
| 移动速度 | 800 | 800 | 800 |
| 加速 | 1800 | 1800 | 1800 |
规格：
1.采用ANSYS有限元算法对三轴近期导轨进行精度设计优化，矩形横梁及封闭框架结构设计，X轴和Z轴均采用四面包围静压式气浮轴承结构及风琴式防尘设计等技术特点，整机应用了新材料及NANO技术专利的新技术及结构；
2、机械整体结构采用刚性强、重量轻、密框移动桥式结构，简单、紧凑、承载能力强、移动性能好。
3、Y轴导轨采用燕尾槽式，精度高，稳定性好。
4.驱动系统采用独有专利（专利号ZL 2014 2 0529248.2）线传动，保证了驱动的快速性、精度和动作的完美性。
5.Z轴采用陶瓷材料，高强度烧结陶瓷材料，强度高，表面光洁度高
6.三轴采用静态气压气浮导轨，由自清洁、预压、高精度的气浮轴承组成。
7.采用进口RTLC+TONIC组合作为长度测量基准， 50nm超高分辨力的标准提供可靠的测量基准。
8、传动采用国际著名品牌AMETEK PITTMAN ，M系列直流伺服电机作为速度环驱动单元。
9.软件为开发和运行测试程序提供了强大的平台。
10.三轴导轨工作采用RENISHAW六直线补偿单元和两工件补偿单元，保证了实时补偿的准确性和可靠性，大大降低了测量所需环境的局限性；
探针选择：
| PH10M+SP25 | REVO | |
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细节：
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